部分参数
|
设备型号 |
UV-3/5 |
GREEN-10/20 |
|
激光功率 |
紫外3/5W（0.5W－15W） |
绿光10/20W（2W－30W） |
|
激光波长 |
355nm |
532nm |
|
脉冲重复频率 |
20－200KHz |
1－300KHz |
|
标准打标范围 |
110mm*110mm |
110mm*110mm |
|
最小线宽 |
0.01mm，可做得更小 |
0.02mm，可做得更小 |
|
重复定位精度 |
0.002mm |
0.002mm |
|
扫描速度 |
10000mm/s |
10000mm/s |
|
冷却方式 |
风冷/水冷 |
风冷/水冷 |
设备特点：
355紫外光聚焦光斑极小，能在很大程度上降低材料的机械变形且加工热影响小
主要用于超精细打标、雕刻、切割，特别适合用于精密材料打标、打微孔、玻璃材料的高速划分及对硅片晶圆进行复杂的图形切割等应用领域。
样品图片
