适合各类晶圆的激光标识和划槽，包括硅、锗、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石等。
适用国际标准 semi ocr字体，选配晶圆机器手、自动寻边器、晶圆盒。
设备参数
激光波长 355nm/532nm
激光功率 5W/10W
重复频率 30-150KHz
打标范围 110mm*110mm
标记线宽 ≤0.01mm
标记深度 10-500μm可调节
最小字符 0.3mm
标记线速 5000mm/s
重复精度 ±0.003mm
电力需求 220V/50Hz/60Hz/10A
整机功率 3KW
样品照片
