晶圆激光打标机
简介:
适合硅、锗、氮化镓、砷化镓、磷化铟、氮化 硅等。晶圆的数字及字母标识及二维码打标。 也适合以上晶圆的划线、刻槽
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晶圆激光切割机
简介:
采用超快激光器，两种工作方式。一是隐形切 割，在透明或半透明晶圆，如碳化硅、金刚 石、蓝宝石、硅、石英等，通过激光在内部形 成爆点，再采用裂片进行切割。二是表面切 割，用超快激光器一层一层切割穿晶圆。
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